标准编号:	GB/T 32386-2015
中文名称:	电子工业用气体 六氟化钨
英文名称:	Gases for electronic industry—Tungsten hexaflouride
中标分类:	G86工业气体与化学气体
行业分类:	国家标准(GB)
ICS分类:	71.100.20工业气体
发布机构:	中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
发布日期:	2015-12-31
实施日期:	2016-07-01
标准状态:	现行
翻译语言:	英文
文件格式:	PDF
中文字符数:	20000 字
翻译价格(元):	1200 元
交付时间:	付款后 1-3工作日

本标准规定了六氟化钨的技术要求、试验方法、包装、标志、贮运和安全。
本标准适用于化学合成法制取并经精制纯化的六氟化钨。该产品主要用于电子工业中金属钨化学气相沉积工艺、钨材料的制备等。
分子式:WF6。
分子量:297.8304192(按2009年国际相对原子质量计算)。

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