本标准规定了为保证半导体生产设施与用于生产半导体器件的设备能一起可靠运行的电磁兼容性(EMC)要求。
本标准适用于生产半导体器件的设施和设备,这些设施和设备涵盖所有的设施警报、安全、通信与控制系统、工艺设备、测量设备、自动化设备以及信息技术设备。
本标准不适用于集成电路的封装与功能测试所采用的设备和设施,也不适用于可能在半导体生产过程中产生的静电。
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GB9254 信息技术设备的无线电骚扰限值和测量方法
GB/T17626.2—2006 电磁兼容 试验和测量技术 静电放电抗扰度试验
GB/T17626.3—2006 电磁兼容 试验和测量技术 射频电磁场辐射抗扰度试验
GB/T17626.4—2008 电磁兼容 试验和测量技术 电快速瞬变脉冲群抗扰度试验
GB/T17626.5—2008 电磁兼容 试验和测量技术 浪涌(冲击)抗扰度试验
GB/T17626.16—2007 电磁兼容 试验和测量技术 0Hz~150kHz共模传导骚扰抗扰度试验
