本标准规定对仪器化纳米压入试验用仪器的能力要求和试验的基本方法，还规定了对仪器校准和检验、压头、标准样品的要求，以及仪器柔度和压头面积函数的确定方法，并给出了确定硬度和材料参数所需的数据分析方法和压头使用的注意事项。
本标准适用于测试各种体材料和薄膜的硬度、模量等，其压入深度范围通常在纳米量级，也可以扩展至几微米。
前言Ⅲ
引言Ⅳ
1 范围1
2 规范性引用文件1
3 术语和定义、符号1
4 测试原理4
5 仪器要求5
6 试样要求6
7 环境要求6
8 测试程序6
9 试验结果的不确定度7
10 试验报告8
附录A (规范性附录) 压头面积函数的确定方法9
附录B (规范性附录) 压头的要求11
附录C (资料性附录) 基于载荷-深度数据确定硬度和材料参数的方法15
附录D (资料性附录) 金刚石压头的注意事项19
附录E (规范性附录) 标准样品的要求20
附录F (规范性附录) 仪器柔度的确定方法22
附录G (资料性附录) 基于压入能量关系确定硬度和模量的方法24
附录H (资料性附录) 基于压入连续接触刚度确定硬度和模量的方法26
附录I(规范性附录) 仪器的校准和检验方法29
参考文献33
