本标准代替GB/T 16594-1996《微米级长度的扫描电镜测量方法》。
本标准规定了微米级长度的扫描电镜测量方法的通用原则。
本标准与GB/T 16594-1996相比主要变化如下:
———将“测量方法”改为“测量方法通则”;
———将“误差分析”改为“不确定度评定”;
———增加样品变形产生的不确定度评定;
———改用实验方法获取图像测量的瞄准不确定度量值;
———增加“被测长度方向的调整”附录。
下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件,其随后所有的修改单(不包括勘误的内容)或修订版均不适用本标准,然而,鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件,其最新版本适用于本标准。
JJF1001-1998 通用计量术语及定义
JJG550-1988 扫描电子显微镜国家计量检定规程
JJF1059-1999 测量不确定度评定与表示
BIPMIECIFCCISOIUPACIUPAP OIML-1993 测量不确定度表示指南(GuidetotheExpressionofUncertaintyin Measurement)