本标准参照了IEC 60759:1983《半导体Ｘ 射线能谱仪标准测试程序》。本标准代替GB/T 13179-1991《硅（锂）Ｘ 射线探测器系统》。本标准规定了硅（锂）X射线探测器系统的产品分类、技术要求、试验方法和检测规则等。本标准适用于带有液氮贮存容器的室内用硅（锂）X射线探测器系统，但不适用于扫描电镜的、便携式或非液氮冷却硅（锂）X射线探测器系统。
前言Ⅰ
1 范围1
2 规范性引用文件1
3 术语和定义以及符号1
4 产品分类3
5 技术要求5
6 试验方法6
7 检验规则15
8 标识、包装、运输、贮存16
附录A(资料性附录) 从X 能量分辨率计算电噪声近似值的方法18
参考文献19
图1 端帽尺寸图4
图2 总体外型结构图5
图3 被测特性的基本测量系统7
图4 典型的噪声测量脉冲幅度谱8
图5 用示波器和均方根电压表测噪声的测量系统9
图6 线性的测量和表示13
图7 温度效应的测量系统(以能谱仪为例) 14
表1 硅(锂)X 射线探测器系统产品规格表4
表2 (真空)冷室及端帽分类5
表3 不同灵敏面积探测器的峰谷比要求6
表4 参考条件和标准试验条件6
表5 测量常用放射源10
表6 检验项目分类及要求16
表7 抽样方案表16
